1.電容式傳感器特點

電容式傳感器是把被測量空壓機的(de)位移、速度等參數變換爲電 容變化(huà)的(de)一種傳感器。

它實質上是有一個(gè)可(kě)變參數的(de)電容器。根據電容器參數變化(huà)的(de)特性、電容式傳感器可(kě)分(fēn)爲極距 變化(huà)型、面積變化(huà)型和(hé)介質變化(huà)型三類。在實際應用(yòng)中，極 距變化(huà)型與面積變化(huà)型應用(yòng)較廣。

2.極距變化(huà)型電容式傳感器

一個(gè)平闆電容器,A、B爲兩平行的(de) 金屬極闆，兩闆間充滿了(le)介電系數爲e 的(de)電介質，每闆的(de) 面積爲s,兩闆間内表面之間的(de)距離爲8,并設闆面的(de)線度 遠(yuǎn)大(dà)于兩闆内表面之間的(de)距離。

兩闆間的(de)場(chǎng)強爲由靈敏度公式可(kě)以看出，靈敏度S與極距平方成反比, 即極距越小靈敏度越高(gāo)。顯然，由于靈敏度随極距而變化(huà)， 這(zhè)将引起非線性誤差。

爲了(le)減小這(zhè)一誤差，通(tōng)常規定電容式 傳感器在極小範圍内工作,使之能獲得(de)近似線性關系。

在實際應用(yòng)中，有時(shí)爲了(le)提高(gāo)傳感器的(de)靈敏度和(hé)克服某 些外界條件(如電源電壓、環境溫度等) 的(de)變化(huà)對(duì)測量精度 的(de)影(yǐng)響，常采用(yòng)差動型式。差動型式由三塊極闆組成，外側 兩個(gè)極闆被固定,中間一塊是可(kě)動的(de)。

它的(de)優點是靈敏度比雙闆的(de)高(gāo)1倍,并且穩定性較好。 極距變化(huà)型電容式傳感器除靈敏度高(gāo)處，還(hái)具動态響應快(kuài)并 可(kě)進行非接觸測量。爲了(le)保證電容傳感器的(de)線性，所測位移 不能太大(dà)。故使用(yòng)範圍受到一定的(de)限制。

3.面積變化(huà)型電容式傳感器

改變極闆面積的(de)電容式傳感器，一般常用(yòng)的(de)有角位移型 與線位移型兩種。如角位移型，當動闆有一轉 角時(shí)，與定闆之間相互覆蓋面積就變化(huà),從而導緻電容量的(de) 變化(huà)。

即輸出與輸入爲線性關系，平面線位移型電容傳感器，當動闆沿X方 向移動時(shí),覆蓋面積變化(huà)，電容量也(yě)随之變化(huà)。

電容量爲面積變化(huà)型電容傳感器的(de)優點是輸出與輸入呈線性關 系，但與極距變化(huà)型相比，則有靈敏度較低的(de)缺點，适用(yòng)于 較大(dà)直線位移及角位移的(de)測量。